半导体温控设备（Chiller）
使用场合：半导体，医疗制药，LED/LCD，食品加工，航空航天，装备制造等领域
- 使用介质：电子氟化液
-电子氟化液是无色透明全氟化学品，具有良好的化学惰性、电气绝缘性能、热传导性和独特的第表面张力广泛应用于半导体制造厂作为热传导介质。主要应用于蚀刻设备、离子注入设备、测试设备及其他设备
洗涤器
洗涤器在半导体及显示工程中的作用是，净化各工程使用后排放的有害气体的气体净化装置。
常用于蚀刻和化学沉积流程。
主要用作温度调节装置Chiller和套装
湿式清洗(Wet Cleaning)
- 水洗式
- 燃烧+水洗式
- 电加热
- 等离子体+水洗
干式清洗(Dry Cleaning)